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恒歌濾芯廠家供應(yīng)高效不銹鋼過濾芯_均布氣流用于PECVD系統(tǒng)氣體擴散分布器


產(chǎn)品詳情

PECVD系統(tǒng)的氣源幾乎都是由氣體鋼瓶供氣,這些鋼瓶被放置在有許多安全保護裝置的氣柜中,通過氣柜上的控制面板、管道輸送到PECVD的工藝腔體中。在淀積時,反應(yīng)氣體的多少會影響淀積的速率及其均勻性,恒歌PECVD氣體擴散分布器用于PECVD系統(tǒng)中,控制均布氣體流量,去除過濾氣體流路中的雜質(zhì)。不銹鋼材質(zhì),高強度高硬度,耐腐蝕,高精度,過濾效率高,可反復(fù)清洗后使用。可應(yīng)用于氣體pecvd系統(tǒng)、純水EDI/RO反滲系統(tǒng)、高溫?zé)煔鈴S氣體凈化系統(tǒng)、惰性氣體系統(tǒng)、醫(yī)用氣體系統(tǒng)、氣體內(nèi)能系統(tǒng)等。

不銹鋼濾芯特點

結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,不掉渣造成原液,碎渣對機械設(shè)備造成損壞
外觀精美,通過恒歌獨特的無縫一體化燒結(jié)而成,外表進過特殊拋光工藝使產(chǎn)品外觀光亮且無毛刺
內(nèi)部孔隙率高,孔徑分布合理且均勻可實現(xiàn)氣體液體高效過濾
機械強度高,剛性優(yōu)秀,塑性良好
過濾精度高(0.2~120微米)可按照設(shè)備需求定制不同精度

恒歌有專業(yè)的技術(shù)團隊提供技術(shù)支持,可按需定制、來圖來樣設(shè)計定制產(chǎn)品。

 

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恒歌濾芯廠家供應(yīng)高效不銹鋼過濾芯_均布氣流用于PECVD系統(tǒng)氣體擴散分布器

高效不銹鋼過濾芯
氣體擴散分布器
氣體擴散分布器
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