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真空系統氣體過濾器_KF濾網耐熱耐腐蝕中心支架過濾網


  • 供貨能力: 每月10000件以上
  • 定制方式: 來圖定制
  • 產地: 廣東深圳
  • 材質: 316/不銹鋼
  • 交期: 一周
  • 產品詳情

    ?KF系列真空系統氣體過濾器易于安裝于真空系統,特別適用于實現清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產品產量和設備吞吐量。在規范安裝及操作條件下,可確保產品完整性達3,000,000次循環。該過濾器廣泛應用于半導體設備接口(如CVD、PVD、Etch、Epi)及各類真空室(裝載鎖、傳輸、冷卻、工藝腔體)的通風,適合短時間內傳遞大量氣體流的場合。

    產品特點

    減少工藝腔體排氣時的湍流

    適用于多種工藝氣體

    潔凈室環境內制造、測試、包裝

    100% 完整性測試通過

    技術參數

    濾芯材質 16L不銹鋼粉末燒結 殼體材質 316L不銹鋼
    最大進氣壓力 6.89bar 0-ring 氟橡膠(可選)
    最大工作壓差 3bar 工作壽命 ≥100,000cycles
    最高操作溫度 100°C with 0-ring
    400′C with no 0-ring
    下游潔凈度 ≥0.03particles/liter
    @>0.01um rate flow

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