擴散器專用過濾器金屬墊片_半導體VCR過濾墊片_密封超純凈接頭墊片
MF系列儀器保護專用過濾器、全金屬材質、專為半導體氣體分配系統設計、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩壓設備不可或缺的守護屏障。在高達400℃環境下、能有效阻隔微粒侵襲、守護敏感氣體組件、延長設備壽命、預防因微粒污染導致的泄露風險。可選擇低壓型或高壓型、也可在現有配管上安裝、為精密設備提供經濟高效的防污屏障。
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產品特點
1、整體316L不銹鋼結構
2、可以作為表面密封的過濾器、所以不需要額外的工作(切割/焊接管道用于過濾器安裝)
3、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
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產品參數
| 濾芯材質?? | ? 316L不銹鋼粉末燒結 | 殼體/墊片材質 | ? 316L不銹鋼 | |
| 表面處理??? | 內表面??? | 拋光+電解Ras0.2um | 最高使用溫度??? | ?400°C |
| 外表面??? | ? Ra < 1.бum?? | |||
| 顆粒攔截粒徑?? | ≥99.9999999%(9LRV)@100slpm (參考MPPS，所有顆粒) |
顆粒攔截粒徑?? | 20.3um | |
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