在半導體制造過程中，污染控制是至關重要的環節，微小的污染物都可能影響產品質量和性能。恒歌半導體過濾器憑借先進的技術和可靠的性能，成為半導體行業過濾領域的優選。我們提供的微電子半導體過濾器、電子半導體過濾器等系列產品，覆蓋半導體制造多個關鍵環節，為工藝氣體、流體等的潔凈度保駕護航。

核心優勢

恒歌半導體氣體過濾器作為半導體行業高純 / 超純氣體過濾系統的首選，具備多重優勢，能夠滿足半導體制造的嚴苛需求：

●?先進的過濾與分離能力：屬于適用于半導體制造的先進過濾和分離解決方案，采用先進的納米攔截功能，可精準攔截微小顆粒及雜質，保障過濾效果，助力實現產品最佳性能，同時減少因污染導致的材料浪費和返工，節省成本。

●?穩定耐用的結構設計：采用整體 316L 不銹鋼結構，這一設計讓過濾器具備耐高溫、耐高壓、耐腐蝕的特性，非常適合半導體制造中的高溫和高壓力應用場景，能在復雜環境下保持穩定運行。

●?靈活的定制與適配：有著多種規格型號，可提供 OEM 定制服務，能按照不同項目的需求設計生產，為客戶的項目提供最專業的過濾解決方案，更好地適配各種生產工藝。

產品特點及規格

恒歌半導體過濾器在性能和規格上精心設計，以滿足半導體行業的高標準要求，具體如下：

●?耐受性能優異：耐高溫、耐高壓、耐腐蝕，適應半導體制造中的復雜工況。

●?結構材質可靠：整體采用 316L 不銹鋼結構，保證過濾器的穩定性和使用壽命。

●?適用范圍廣泛：適用于多種工藝氣體，為半導體制造中的各類氣體處理提供支持。

●?流通性能良好：高通量、低阻力，確保氣體等流體在過濾過程中保持高效流通，不影響生產效率。

●?攔截效果突出：超高顆粒攔截效率，內置 0.003-100 微米過濾器，可有效去除微小顆粒。

●?密封性能達標：經過 100% 氨氣檢漏測試，確保過濾器無泄漏，避免污染物進入已過濾的流體中。

●?凈化效果顯著：出口氣體各雜質含量小于 5ppb，滿足半導體制造對氣體潔凈度的嚴格要求。

●?配置選擇多樣：可配置兩閥、三閥和四閥等組件，靈活適配不同的系統連接需求。

行業應用

恒歌半導體行業過濾器可廣泛應用于半導體制造的多個環節，如集成電路、數據存儲、平板顯示和光伏產品等的生產過程。在工藝氣體處理、高純流體過濾等場景中，有效控制污染，減少因污染導致的缺陷，提高產品良率，為半導體行業的高質量生產提供有力支持。

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